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    高精度定位：Queensgate 推出新型高負(fù)載壓電平臺(tái)
    
                    
    
                        
    2025-08-05 15:44:35
    
                        
    虹漸光電
    
                        
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    Queensgate Instruments 近期推出了一款能夠承載高達(dá) 6 kg 負(fù)載、具有放大功能的高負(fù)載平臺(tái)，擴(kuò)展了其高性能納米定位壓電平臺(tái)產(chǎn)品系列。 該平臺(tái)的測量范圍為 250 微米，有兩種配置可供選擇：用于水平移動(dòng)的 QGNPS-X-250B 和用于垂直移動(dòng)的 QGNPS-Z-250B。兩種配置均具備精密制造應(yīng)用所需的亞納米級(jí)分辨率。 
    

    正如 Queensgate 產(chǎn)品經(jīng)理 Craig Goodman 所解釋的那樣，該平臺(tái)通過將柔性鉸鏈與電容式傳感器相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)其高精度運(yùn)動(dòng)： 
    

    “該系統(tǒng)具有柔性鉸鏈導(dǎo)向運(yùn)動(dòng)功能，幾乎消除了旋轉(zhuǎn)誤差。電容式傳感器直接測量平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)，結(jié)合壓電促動(dòng)器近乎無限的分辨率和我們的低噪聲電子控制設(shè)備，確保高精度的定位。” 
    

    用戶可以選擇適合其應(yīng)用和有效載荷的校準(zhǔn)參數(shù)，以實(shí)現(xiàn)快速的步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間。大負(fù)載能力下，2 微米步長僅為 18 毫秒。 這款平臺(tái)為要求嚴(yán)苛的高精度工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，典型用途包括： 
    

    ● 物鏡轉(zhuǎn)盤定位 
    

    ● 白光表面計(jì)量 
    

    ● 半導(dǎo)體檢測 
    

    ● 精密制造
    

     
    
                    
    
                    
                
    
            
    
        
    
    
    
    
    
    

    

    
    
    
    
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