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超聲壓電位移平臺
我們提供了一系列不同長度的精密線性平臺，并提供不同的附加選擇。行程可以到達 100 mm，應用方向廣泛。采用Crossfixx 超聲壓電技術(shù)，速度可以達到 200 mm/s。非常適合掃描應用，提供恒定的掃描速度，誤差小于 2 %。
我們的平臺易于安裝和使用，將平臺和控制器連接可以非常簡單的通過軟件控制平臺到達需要的位置。
根據(jù)不同的應用，我們提供不同的平臺精度，從分辨率 1.25 um到 1 nm 可選。特殊的定制要求也可以滿足，如高真空環(huán)境，需要將平臺放置在 SEM 上使用，或者真空腔體之中，仍然能夠保持良好的性能。使用短殼版平臺，我們可以獲得較大的行程距離，使體積與行程比達到優(yōu)異。
我們的精密線性平臺通過超聲壓電電機驅(qū)動，緊湊以及準確的線性壓電平臺，易于安裝以及操作。
產(chǎn)品選型
| 型號 | 圖片 | 推力 N |
行程 mm |
負載 kg |
分辨率 nm |
重復精度 nm |
精度 μm |
速度 |
| XLS-1 |  |
1 |
30、48 |
0.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 25 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 μm/s Min. 200 mm/s Max. |
| XLS-3 |  |
3 |
30、48、69、109 |
1.5 max. |
1250 312 78 5 |
± 1250 ± 350 ± 80 ± 50 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 μm/s Min. 200 mm/s Max. |
| XLS-5 |  |
5 |
30、48、69、109 |
1.5 max. |
1250 312 78 |
± 1250 ± 350 ± 80 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
2 — 5 um/s Min. 200 mm/s Max. |
電話：021-52996090郵箱：sales@nanoptic.com傳真：021-52996090
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