壓電XYR平臺(tái)

    我們提供的微型壓電 XYR 平臺(tái)可沿著 X 軸和 Y 軸或者圍繞 Z 軸以納米級(jí)精度移動(dòng)重達(dá) 2.5 kg 的負(fù)載。

    模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容,可輕松組合成多軸系統(tǒng),提供平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間,并帶有靜止自鎖功能。

    產(chǎn)品選型
    型號(hào) 圖片
    行程 (XY) mm
    行程 θ (Z) °
    較小可移動(dòng)增量 (XY) nm
    較小可移動(dòng)增量 θ (Z) μrad
    重復(fù)定位精度 (XY) nm
    重復(fù)定位精度 θ (Z) μrad
    推力/拉力 N
    XYR-8N
    ± 10
    ± 10
    2
    < 0.1
    ± 200
    ± 15
    (X) 10 / (Y) 8
    XYRHV-8N
    ± 10
    ± 10
    2
    < 0.1
    ± 200
    ± 15
    (X) 10 / (Y) 8
    XYR-16N
    ± 10
    ± 10
    2
    < 0.1
    ± 200
    ± 15
    (X) 20 / (Y) 16
    XYRHV-16N
    ± 10
    ± 10
    2
    < 0.1
    ± 200
    ± 15
    (X) 20 / (Y) 16

    產(chǎn)品中心

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