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顯微鏡電動(dòng)模塊
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微型運(yùn)動(dòng)控制
微型直線電機(jī) 超聲壓電電機(jī) 超聲壓電推桿 超聲壓電位移平臺(tái) 超聲壓電轉(zhuǎn)臺(tái) 壓電Z軸平臺(tái) 壓電XYR平臺(tái) 壓電推桿 壓電偏擺臺(tái) 壓電六軸平臺(tái) -
納米定位系統(tǒng)
壓電定位Z軸平臺(tái) 壓電定位1軸平臺(tái) 壓電定位2軸平臺(tái) 壓電定位3軸平臺(tái) 壓電定位偏擺臺(tái) 納米定位傳感器 納米促動(dòng)器 -
激光自動(dòng)對(duì)焦模塊
激光自動(dòng)對(duì)焦模塊 物鏡壓電Z軸 樣品壓電Z軸 步進(jìn)電機(jī)Z軸 -
電動(dòng)位移平臺(tái)
一維平臺(tái) 電動(dòng)Z軸平移臺(tái) 旋轉(zhuǎn)平臺(tái) -
附件
隔振平臺(tái) 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
壓電定位Z軸平臺(tái)
閉環(huán)壓電促動(dòng)平臺(tái)。標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái)提供不同的材質(zhì)，主要包含了超級(jí)殷瓦合金，不銹鋼，鈦合金，鋁合金。適合在真空，強(qiáng)輻射，高溫的環(huán)境中工作。同時(shí)我們也提供客戶定制型號(hào)。
我們可以提供線性平臺(tái)，偏轉(zhuǎn)臺(tái)用來構(gòu)建單軸或者多軸系統(tǒng)，使用高性能壓電控制器，電容位置反饋獲得完整的閉環(huán)控制系統(tǒng)。當(dāng)使用數(shù)字控制器時(shí)，支持即插即用功能。
產(chǎn)品選型
| 型號(hào) | 圖片 | 方向 |
材料 |
行程 μm |
負(fù)載 kg |
線性誤差 % |
重復(fù)定位精度 nm |
| OP200 |  |
Z |
不銹鋼 |
200 閉環(huán) |
0.5 |
0.01 |
1 |
| OP400 | |
Z |
不銹鋼 |
400 閉環(huán) |
0.8 |
0.005 |
1.6 |
| OP800 |  |
Z |
不銹鋼 |
800 閉環(huán) |
0.5 |
0.01 |
5 |
| SP200 |  |
Z |
鋁/不銹鋼 |
200 閉環(huán) |
0.5 |
0.25 |
3 |
| SP400 | |
Z |
鋁/不銹鋼 |
400 閉環(huán) |
0.5 |
0.2 |
3 |
| SP600 | |
Z |
鋁/不銹鋼 |
600 閉環(huán) |
0.5 |
0.2 |
3 |
| SP800 | |
Z |
鋁/不銹鋼 |
800 閉環(huán) |
0.5 |
0.2 |
3 |
| NPS-Z-250B |  |
Z |
鋁（鍍鎳） |
250 閉環(huán) |
6 |
0.004 |
NA. |
| NPS-Z-500C |  |
Z |
鋁/不銹鋼 |
500 閉環(huán) |
NA. |
0.002 |
5 |
| NPS-Z-500B-UHV |  |
Z |
鈦鋁合金 |
550 閉環(huán) |
NA. |
0.1 |
NA. |
| WP-Z-120A |  |
Z |
不銹鋼 |
120 閉環(huán) |
14 |
0.10 |
5.5 |
| NPS-Z-15A |  |
Z |
超殷瓦合金（亮鍍鎳） |
8 |
0.2 |
＜0.01 |
NA. |
| XP系列 |  |
Z |
鋁/不銹鋼 |
200 閉環(huán) 400 閉環(huán) 800 閉環(huán) |
5.09 3.06 1.02 |
0.005 |
5 |
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