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                        NPS-Z-500B-UHV
                    
    
                    
    
                        
    
                            
    
                                
    
                                    
      
                                            
                                                                                    
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    NPS-Z-500B-UHV
    
                            
    500μm長行程壓電臺(tái)
    
                            
    
                                                                    
    高度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，離軸偏差較小
    
                                                                    
    位置噪聲＜1 nm，線性度 0.01%，0.02% 殘余滯后
    
                                                                    
    可定制套件，可提供真空和低溫版
    
                                                                    
    出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性
    
                                                                    
    80K UHV 下的 100 μm 閉環(huán)位移
    
                                                            
    
                        
    
                    
    

                
    
            
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                                                        
    產(chǎn)品描述
    
                                                                                    
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                                                    
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    產(chǎn)品描述
    
                            
    NPS-Z-500B-UHV 可以在溫度 80 K 真空度 10 — 9 torr 的環(huán)境中實(shí)現(xiàn) 100 μm 的全行程。電容式定位傳感器提高閉環(huán)精度，柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)使其成為了一款高度線性的設(shè)備，擁有出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性。低離軸誤差和高諧振頻率進(jìn)一步增強(qiáng)了性能。
    

    特性
    

    ● 高度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，離軸偏差較小
    

    ● 位置噪聲 ＜1 nm，線性度 0.01 %，0.02 % 殘余滯后
    

    ● 可定制套件，可提供真空和低溫版
    

    ● 出色的分辨率、可重復(fù)性、剛性和穩(wěn)定性
    

    ●  80 K UHV 下的 100 μm 閉環(huán)位移
    

    推薦控制器
    

    ● NPC-D-5200 數(shù)字控制器
    

    ● NPC-D-6000 系列
    

     
    

    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    
                        
    
                                                                        
    
                            
    產(chǎn)品參數(shù)
    
                                                        
    
                                
    
                                    
                                    
    
                                        參數(shù)/型號(hào)
                                        
                                                                                    方向
                                                                                    材料
                                                                                    行程 μm
                                                                                    負(fù)載 kg
                                                                                    線性誤差 %
                                                                                    重復(fù)定位精度 nm
                                                                            
    
                                        
                                    
                                                                            
    
                                            NPS-Z-500B-UHV
                                                                                            
    Z
    		
                                                                                            
    鈦鋁合金
    		
                                                                                            
    550 閉環(huán)
    		
                                                                                            
    NA.
    		
                                                                                            
    0.1
    		
                                                                                            
    NA.
    		
                                                                                    
    
                                                                            
                                
    

                            
    
                            
    
                                
                            
    
                                                    
    
                                                                        
    
                            
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    產(chǎn)品資料
    
                                                                                                                    
                                                                    
    
                                                            
                                                            
    
                                    
    軟件以及二次開發(fā)
    
                                                                                                                    
    
                                            Nanobench 1.4.4.1
                                            
    
                                                
                                                22.10MB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-16
                                            
    
                                            
    

                                            下載
                                        
    
                                                                                                                    
    
                                            Nanobench 2.7.9API
                                            
    
                                                
                                                39.05MB
                                            
    
                                            
    
                                                
                                                2026-01-16
                                            
    
                                            
    

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