網(wǎng)站首頁
							>
							產(chǎn)品中心
							>
                            微型運(yùn)動(dòng)控制
                            >
							壓電Z軸平臺(tái)
						
    
						
    
							
    
								
    
									
    
										
      
                                                                                        											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            
										
    
									
    
									
									
								
    
								
    
									
    
										
      
                                                                                        											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            											
    • 
												
      
											
      • 
                                            										
    
									
    
								
    
							
    
							
    
								
    壓電Z軸平臺(tái)
    
								
    
								
    
									
    我們提供的 45 系列垂直升降臺(tái)可在厘米級(jí)范圍內(nèi)以納米級(jí)精度移動(dòng)，承載重量可達(dá) 1 kg，靜止時(shí)可自鎖。此款升降平臺(tái)配備了集成定位傳感器，旨在提供快速簡(jiǎn)便設(shè)置所需的精度、負(fù)載能力和易用性。
    

    45 系列垂直升降臺(tái)的特點(diǎn)為平整、占用空間小，僅為 45 × 45 mm，垂直方向的行程為 10 mm，可提供 5 N 或 10 N 的上升力。
    

    模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和穩(wěn)定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
    
								
    
							
    
						
    
						
    
                                                        
    
                                
    產(chǎn)品選型
    
								
    
									
										
    
											型號(hào)
                                            圖片
                                                                                        
    行程 (Z) mm
    		
                                                                                        
    分辨率 nm
    		
                                                                                        
    較小可移動(dòng)增量  nm
    		
                                                                                        
    雙向重復(fù)性 nm (typ. @  ± 5 mm travel)
    		
                                                                                        
    偏擺 Pitch
    		
                                                                                        
    偏擺 Yaw
    		
                                                                                        
    推力/拉力 N
    		
                                                                                        
    真空兼容性
    		
                                            										
    
									    
									
                                        										
    
											ELEV-5N
											
                                                                                             
    10
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    ± 100
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    5  (min.)
    		
                                                                                             
    -
    		
                                            										
    
                                        										
    
											ELEVHV-5N
											
                                                                                             
    10
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    ± 100
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    5  (min.)
    		
                                                                                             
    10-6 mbar
    		
                                            										
    
                                        										
    
											ELEV-10N
											
                                                                                             
    10
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    ± 100
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    10  (min.)
    		
                                                                                             
    -
    		
                                            										
    
                                        										
    
											ELEVHV-10N
											
                                                                                             
    10
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    2
    		
                                                                                             
    ± 100
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    ± 150
    		
                                                                                             
    10  (min.)
    		
                                                                                             
    10-6 mbar
    		
                                            										
    
                                        										
    
											XVP
											
                                                                                             
    10
    		
                                                                                             
    1250
312
78
5
    		
                                                                                             
    1250
312
80
50
    		
                                                                                             
    2500
700
160
100
    		
                                                                                             
    140
    		
                                                                                             
    60
    		
                                                                                             
    30
    		
                                                                                             
    10-6 mbar
10-9 mbar
    		
                                            										
    
                                        
									    
								
    
                                                            
    
                            						
    
					
    
				
    
			
    
			
    
    

    

    
    
    
    
    產(chǎn)品中心
    

    

    
    
    
        
        
    
                            EN