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                        壓電Z軸平臺
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                        ELEVHV-5N
                    
    
                    
    
                        
    
                            
    
                                
    
                                    
      
                                            
                                                                                    
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    ELEVHV-5N
    
                            
    真空納米分辨率垂直運動平臺
    
                            
    
                                                                    
    行程（Z）：10 mm
    
                                                                    
    分辨率：2 nm
    
                                                                    
    較小可移動增量：2 nm
    
                                                                    
    雙向重復性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
    
                                                                    
    推力/拉力：5 N （至少）
    
                                                                    
    鎖止力（電源關閉時）：6 N（?。?/span>
    
                                                            
    
                        
    
                    
    

                
    
            
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                                                        
    產品描述
    
                                                                                    
    產品參數(shù)
    
                                                                                    
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    產品描述
    
                            
    

    我們提供的 45 系列壓電 Z 軸平臺有標準版和高真空版兩種。均采用平頂設計，占用空間僅為 45 × 45 毫米，垂直方向的行程為 10 毫米，并提供 5 N 的推力。 
    

    微型真空壓電 Z 軸平臺為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設計。每個平臺都配有真空端電纜（PTFE 涂層電線，編織金屬套管），末端為 DB9 母頭。 每個平臺還配有空氣端 DB9 母頭轉 ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用！ 
    

    模塊化系統(tǒng)中的所有產品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間以及靜止時自鎖功能。
    

    

    

    

    特性
    

    

    ● 行程（Z）：10 mm
    

    ● 分辨率：2 nm
    

    ● 較小可移動增量：2 nm
    

    ● 雙向重復性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
    

    ● 推力/拉力：5 N （至少）
    

    ● 鎖止力（電源關閉時）：6 N（小）
    

    

    

    產品參數(shù)
    

    

    

    


    
 型號 
ELEVHV-5N

    

    
 定位 
 

    

    
  行程（Z） 
 10 mm 

    

    
  定位傳感器 
 光柵編碼器 

    

    
  分辨率 
 2 nm 

    

    
  較小運動增量 
 2 nm 

    

    
  雙向重復定位精度 
 ± 100 nm（典型值 @ 全行程） 

    

    
  直線度和平面度 
 ± 2 µm（典型值） 

    

    
  偏擺 Pitch 
 ± 150 µrad（典型值） 

    

    
  偏擺 Yaw 
 ± 150 µrad（典型值） 

    

    
 運動性能 
 

    

    
  較大推力/拉力 
 5 N（至少） 

    

    
  鎖止力（電源關閉時） 
 6 N（較?。?

    

    
  較大速度（空載時） 
 8 mm/s 

    

    
  較大速度（大作用力時） 
 5 mm/s（較?。?

    

    
 驅動類型 
 

    

    
  電機驅動 
 壓電驅動 

    

    
 機械性能 
 

    

    
  較大負載 
 0.5 kg 

    

    
  鉸鏈模式 
 交叉滾柱軸承 

    

    
  尺寸 
 45 × 45 × 38 mm 

    

    
  重量（不包含電纜&連接器） 
 160 g（± 10 %） 

    

    
 其他 
 

    

    
  真空端電纜 
0.5 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 連接器
    		

    

    
 空氣端電纜
2 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器

    

    
  材質 
 鋁 

    
    

    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

     
    

    

    
                        
    
                                                                        
    
                            
    產品參數(shù)
    
                                                        
    
                                
    
                                    
                                    
    
                                        參數(shù)/型號
                                        
                                                                                    行程 (Z) mm
                                                                                    分辨率 nm
                                                                                    較小可移動增量  nm
                                                                                    雙向重復性 nm (typ. @  ± 5 mm travel)
                                                                                    偏擺 Pitch
                                                                                    偏擺 Yaw
                                                                                    推力/拉力 N
                                                                                    真空兼容性
                                                                            
    
                                        
                                    
                                                                            
    
                                            ELEVHV-5N
                                                                                            
    10
    		
                                                                                            
    2
    		
                                                                                            
    2
    		
                                                                                            
    ± 100
    		
                                                                                            
    ± 150
    		
                                                                                            
    ± 150
    		
                                                                                            
    5  (min.)
    		
                                                                                            
    10-6 mbar
    		
                                                                                    
    
                                                                            
                                
    

                            
    
                            
    
                                
                            
    
                                                    
    
                                                                        
    
                            
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                                                2025-10-14
                                            
    
                                            
    

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