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顯微鏡電動模塊
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微型運動控制
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納米定位系統(tǒng)
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激光自動對焦模塊
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電動位移平臺
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附件
隔振平臺 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
壓電偏擺臺
微型壓電偏擺臺可沿 Z 軸、X 軸和 Y 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg? 的負載。
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容，可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間，并帶有靜止自鎖功能。
產(chǎn)品選型
| 型號 | 圖片 | 行程 (Z) mm |
行程 θ (XY) ° |
較小可移動增量 (Z) nm |
較小可移動增量 θ (XY) μrad |
重復(fù)定位精度 (Z) nm |
重復(fù)定位精度 θ (XY) μrad |
大推力/拉力 N |
| ZTT-15N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 15 N (至少) |
| ZTTHV-15N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 15 N (至少) |
| ZTT-30N |  |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 30 N |
| ZTTHV-30N | |
± 10 |
± 9 |
2 |
＜ 0.1 |
± 200 |
± 15 |
(Z) 30 N |
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