ZTTHV-30N

    微型真空壓電偏擺臺

    行程 (Z):± 10 mm

    行程 θ (XY):± 9°

    較小可移動增量 (Z):2 nm

    較小可移動增量 θ (XY):< 0.1 μrad

    重復定位精度 (Z):± 200 nm

    重復定位精度 θ (XY):± 15 μrad

    推力/拉力:(Z) 30 N

    鎖止力 (電源關閉時):(Z) 33 N

    產(chǎn)品描述

    產(chǎn)品參數(shù)

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    產(chǎn)品描述
    微型真空壓電偏擺臺可沿 Z 軸,圍繞 X 軸和 Y 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg的負載。
    模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容,并可輕松組合成多軸系統(tǒng),提供平穩(wěn)的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間,以及靜止自鎖功能。
    TipTilt 微型真空壓電偏擺臺基于精準而強大的 GO 平臺,這使得該平臺可承載重達 2.5 kg的負載,并具有靜止自鎖功能。
    平臺還可通過控制器和應用程序軟件輕松控制,C++ DLL 可實現(xiàn)軟件二次開發(fā)。
    特性
    行程 (Z):± 10 mm
    行程 θ (XY):± 9°
    較小可移動增量 (Z):2 nm
    較小可移動增量 θ (XY):< 0.1 µrad
    重復定位精度 (Z):± 200 nm
    重復定位精度  θ (Z):± 15 µrad
    推力/拉力:(Z) 30 N
    鎖止力 (電源關閉時):(Z) 33 N
    產(chǎn)品參數(shù)
    型號 ZTTHV-30N
    定位  
     行程 (Z) ± 10 mm
     行程 θ (XY) ± 9 °
     較小運動增量 (Z) 2 nm
     較小運動增量 θ (XY) < 0.1 µrad
     重復定位精度 (Z) ± 200 nm
     重復定位精度 θ (XY) ± 15 µrad
    運動性能  
     大推力/拉力 (Z) 30 N
     鎖止力 (電源關閉時) (Z) 33 N
     空載時的大速度 (Z) 8 mm/s
     大負載時的速度 (Z)  > 1 mm/s
    驅(qū)動類型  
     基本模塊 PRECIBEO GO LS4545 線性平臺
    機械性能  
     頂部負載 2.5 kg
     直徑 150 mm
     高度 92 mm
    其他  
     真空側(cè)線纜 3 根 1 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 連接器
     空氣側(cè)線纜 3 根 2 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 & ix Industrial 連接器
     材質(zhì)

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    產(chǎn)品參數(shù)
    參數(shù)/型號 行程 (Z) mm 行程 θ (XY) ° 較小可移動增量 (Z) nm 較小可移動增量 θ (XY) μrad 重復定位精度 (Z) nm 重復定位精度 θ (XY) μrad 大推力/拉力 N
    ZTTHV-30N
    ± 10
    ± 9
    2
    < 0.1
    ± 200
    ± 15
    (Z) 30 N
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    產(chǎn)品資料

    3D模型文件

    STEP GO TipTilt HV

    2.89MB

    2025-12-15

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    產(chǎn)品中心

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