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顯微鏡電動(dòng)模塊
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納米定位系統(tǒng)
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激光自動(dòng)對焦模塊
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電動(dòng)位移平臺(tái)
一維平臺(tái) 電動(dòng)Z軸平移臺(tái) 旋轉(zhuǎn)平臺(tái) -
附件
隔振平臺(tái) 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
WP-Z-120A
晶圓定位器
160 μm 加長行程
200 mm 直徑晶圓
高負(fù)載版本可以提高到 14 kg
和 H112 電動(dòng)平臺(tái)兼容的轉(zhuǎn)接口
真空環(huán)境版本用于真空腔中的電子顯微鏡
超高真空以及真空-輻射環(huán)境使用 Kapton 電纜
帶偏擺功能的 Z 軸可以用于水平調(diào)整以及掃描
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
WP-Z-120 A 晶圓定位系統(tǒng) ms 級的響應(yīng)時(shí)間以及高帶寬是高速、高通量應(yīng)用的理想。平臺(tái)可以裝載 12 寸，300 mm 的晶圓，負(fù)載 8 kg 的晶圓卡盤，在這個(gè)基礎(chǔ)上提供卓越的定位性能。
平臺(tái)內(nèi)置電容位置傳感器，可以獲得納米級別的位移傳感，為平臺(tái)移動(dòng)提供閉環(huán)控制。柔性鉸鏈確保在平臺(tái) 120 μm 的行程范圍內(nèi)，提供無摩擦的穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。通過 QG 獨(dú)有的數(shù)字閉環(huán)控制器，可以使平臺(tái)快速響應(yīng)且比較短的整定時(shí)間。
特性
● 160 μm?加長行程
● 200 mm 直徑晶圓
● 高負(fù)載版本可以提高到 14 kg
● 和 H112?電動(dòng)平臺(tái)兼容的轉(zhuǎn)接口
● 真空環(huán)境版本用于真空腔中的電子顯微鏡
● 超高真空以及真空-輻射環(huán)境使用?Kapton?電纜
● 帶偏擺功能的 Z 軸可以用于水平調(diào)整以及掃描
應(yīng)用
● 玻片以及掩膜檢測
● SEM/TEM 電子顯微鏡
● 干涉測量以及計(jì)量學(xué)
● 顯微鏡應(yīng)用
● 材料檢測
● 鏡面定位
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推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負(fù)載 kg | 線性誤差 % | 重復(fù)定位精度 nm |
| WP-Z-120A | Z |
不銹鋼 |
120 閉環(huán) |
14 |
0.10 |
5.5 |
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控制器
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