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附件
隔振平臺 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
NPS-Z-250B
高負(fù)載壓電平臺，帶電容式定位傳感器
250 微米行程，亞納米級分辨率。
誤差遲滯通常為 0.005%。
線性誤差為 0.004%。
負(fù)載能力高達(dá) 6 千克。
具有放大功能的柔性鉸鏈。
使用電容式定位傳感器直接測量移動平臺。
可在水平或垂直方向進行校準(zhǔn)，以獲得優(yōu)異性能。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
高負(fù)載壓電平臺 帶電容式定位傳感器
Queensgate 的納米定位平臺（NPS）系列旨在嚴(yán)苛的高速和高精度應(yīng)用提供優(yōu)異性能。
NPS-Z-250B 高負(fù)載鉸鏈放大版本支持 X（水平）或 Z（垂直）方向進行校準(zhǔn)，以便在客戶的系統(tǒng)中實現(xiàn)優(yōu)異性能。
柔性鉸鏈導(dǎo)向運動大限度地減少了旋轉(zhuǎn)誤差，通過低噪聲電容式定位傳感器對移動平臺進行直接測量，確保了高精度的定位。
用戶可選擇的校準(zhǔn)參數(shù)為不同有效載荷（標(biāo)準(zhǔn)高達(dá) 6 kg）的快速步進和穩(wěn)定提供優(yōu)佳調(diào)諧。
特性
● 250 微米行程，亞納米級分辨率。
● 誤差遲滯通常為 0.005%。
● 線性誤差為 0.004%。
● 負(fù)載能力高達(dá) 6 千克。
● 具有放大功能的柔性鉸鏈。
● 使用電容式定位傳感器直接測量移動平臺。
● 可在水平或垂直方向進行校準(zhǔn)，以獲得優(yōu)異性能。
應(yīng)用
● 物鏡轉(zhuǎn)盤定位
● 白光表面計量
● 半導(dǎo)體檢測
● 精密制造
推薦控制器
●? NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負(fù)載 kg | 線性誤差 % | 重復(fù)定位精度 nm |
| NPS-Z-250B | Z |
鋁（鍍鎳） |
250 閉環(huán) |
6 |
0.004 |
NA. |
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