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顯微鏡電動(dòng)模塊
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微型運(yùn)動(dòng)控制
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激光自動(dòng)對(duì)焦模塊
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一維平臺(tái) 電動(dòng)Z軸平移臺(tái) 旋轉(zhuǎn)平臺(tái) -
附件
隔振平臺(tái) 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
XLS-5
超聲壓電線性位移平臺(tái)
尺寸：40 × 47.6 × 16.8 mm
標(biāo)準(zhǔn)行程：30 — 109 mm
重量（平臺(tái)）：81 — 241 g
負(fù)載：＜1.5 kg
鎖止力：5 N
驅(qū)動(dòng)力：5 N
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
緊湊&準(zhǔn)確的線性平臺(tái)
XLS?系列精密線性平臺(tái)由超聲壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，獲得微米量級(jí)的快速移動(dòng)定位的能力。當(dāng)平臺(tái)斷電的時(shí)候，還具有自鎖能力，平臺(tái)散熱因此也大大減少。內(nèi)置編碼器分辨率?1.25 μm。
關(guān)鍵特性
● Crossfixx?超聲壓電技術(shù)
● 軸承：高精度交叉滾珠軸承
● 壽命：運(yùn)行距離大于1000 km
機(jī)械特性
● 尺寸：40 × 47.6 × 16.8 mm
● 標(biāo)準(zhǔn)行程：30 — 109 mm
● 重量（平臺(tái)）：81 — 241 g
● 負(fù)載：＜1.5 kg
● 鎖止力：5 N
● 驅(qū)動(dòng)力：5 N
● 平臺(tái)材料：陽極氧化鋁
● 導(dǎo)線長(zhǎng)度：1.5 m
● 接頭：15 針 D-sub 接頭或者定制LEMO 接頭
運(yùn)動(dòng)性能（閉環(huán)）
● 編碼器類型：請(qǐng)選擇編碼器分辨率
● 光柵周期：1280 μm
● 編碼器分辨率：1.25 μm
● 位置分辨率：1.25 μm
● 雙向重復(fù)精度：±?2.5 μm
● 較大速度：200 mm/s
● 較小速度：2 — 5?μm/s
● 速度穩(wěn)定性： ±?1%?
運(yùn)動(dòng)誤差
● 直線度/平面度誤差： ±?5?—?10?μm（取決于平臺(tái)長(zhǎng)度）
選配
● 真空（10?-6?mbar）：-HV
● 短殼版有較大的行程：-SC
環(huán)境兼容性
● 溫度范圍：-30°C —?+70°C
● 濕度范圍：20% — 90%?相對(duì)濕度
● 功耗（電機(jī)）：＜6 W
控制器/軟件
● 兼容Xeryon?控制
● 簡(jiǎn)單易用Windows軟件或者LavView?驅(qū)動(dòng)
● C++?以及Python libraries?提供
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 推力 N | 行程 mm | 負(fù)載 kg | 分辨率 nm | 重復(fù)精度 nm | 精度 μm | 速度 |
| XLS-5-40 | 5 |
30 |
1.5 max. |
1250 312 78 |
± 1250 ± 350 ± 80 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
|
| XLS-5-60 | 5 |
48 |
1.5 max. |
1250 312 78 |
± 1250 ± 350 ± 80 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
|
| XLS-5-80 | 5 |
69 |
1.5 max. |
1250 312 78 |
± 1250 ± 350 ± 80 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
|
| XLS-5-120 | 5 |
109 |
1.5 max. |
1250 312 78 |
± 1250 ± 350 ± 80 |
± 10 ± 5 ± 1 ± 1 |
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產(chǎn)品資料
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軟件以及二次開發(fā)
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