NPS-X-15B

    薄型快速15微米級(jí)

    >15 微米行程,亞納米級(jí)分辨率

    一階諧振頻率>3 KHz,4 kHz NPS-X-15D

    毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載

    原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

    生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠

    即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短

    產(chǎn)品描述

    產(chǎn)品參數(shù)

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    產(chǎn)品描述
    NPS-X-15B 薄型快速 15 微米平臺(tái)最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)而設(shè)計(jì)的。
    它的小尺寸和毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,使其非常適合高可靠性和高通量的應(yīng)用。低運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和高剛性的結(jié)合可提供高帶寬。緊湊的內(nèi)置電容式傳感器,能夠在超過(guò) 16 微米的位移范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)高純度的運(yùn)動(dòng),將寄生運(yùn)動(dòng)降低至 1 微弧度(典型值)。使用數(shù)字閉環(huán)控制器,NPS-X-15A (不銹鋼)可實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)的響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間。
    特性
    15 微米行程,亞納米級(jí)分辨率
    一階諧振頻率 >3 KHz,4 kHz NPS-X-15D
    毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載
    原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
    生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠
    即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短
    應(yīng)用
    磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)
    干涉測(cè)量
    計(jì)量
    AFM 探針
    推薦控制器
    NPC-D-5200 數(shù)字控制器
    NPC-D-6000 系列
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    產(chǎn)品參數(shù)
    參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
    NPS-X-15B
    X
    鋁合金
    15
    0.5
    0.005
    NA.
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    產(chǎn)品資料

    軟件以及二次開(kāi)發(fā)

    Nanobench 1.4.4.1

    22.10MB

    2026-01-16

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    Nanobench 2.7.9API

    39.05MB

    2026-01-16

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