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附件
隔振平臺(tái) 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
FB204
Z軸電動(dòng)聚焦模塊
行程 38 mm
分辨率 20 nm
重復(fù)定位精度 ± 0.7 μm
負(fù)載 14 kg
兼容 Prior 正置平臺(tái)
兼容大多數(shù)控制器
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
FB?系列電動(dòng)?Z?軸根據(jù)不同的應(yīng)用有若干個(gè)選擇，FB203 較為簡(jiǎn)易，可以靈活應(yīng)用于各種光路搭建；FB204，FB205?可以直接固定?Prior?的?XY?電動(dòng)平臺(tái)，用于反射光光路，區(qū)別在于底部固定方式不同；FB206?也可以直接固定XY平臺(tái)，用于透射光路。FB?的控制以及軟件開發(fā)兼容?Prior 的控制系統(tǒng)。
FB204，FB205，FB206?自帶底座，可以直接固定在光學(xué)平臺(tái)上。全系列也能加裝?0.1 μm?分辨率的線性編碼器。滾珠絲桿的齒距為?1 mm，使用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，在確保精度的同時(shí)，掉電也可以鎖定。
行程?38 mm，分辨率?20 nm，重復(fù)定位精度 ±?0.7?μm，負(fù)載?14 kg，兼容?Prior?正置平臺(tái)，兼容大多數(shù)控制器。
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號(hào) | 行程 mm | 重復(fù)精度 μm | 分辨率 nm | 速度 mm/s | 負(fù)載 kg | 編碼器 |
| FB204 | 38 |
± 0.7 |
20 |
1 — 14 |
14 |
No |
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使用手冊(cè)
軟件以及二次開發(fā)
相關(guān)附件
控制器
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