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EN
NX 系列
納米傳感器
亞納米級定位分辨率
零滯后，線性誤差低至 0.02 %
帶寬高達 10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)
超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選
UHV、輻射、低溫、無磁性等衍生型
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
納米位置傳感器-納米傳感器用于極限位置監(jiān)控
NanoSensor 是一種基于電容測微原理的非接觸式位置測量系統(tǒng)。兩塊傳感器板，一個目標(biāo)和一個探針，即可構(gòu)成一個平行板電容器。
兩塊板的間距可以用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y量，分辨率超過 7 pm，范圍可達 1.25 mm，頻率響應(yīng)可達 10 KHz，線性度低至 0.02 %。由于納米傳感器是一種非接觸式方案，因此沒有滯后現(xiàn)象。測量點沒有功率損耗。
特性
● 亞納米級定位分辨率
● 零滯后，線性誤差低至 0.02 %
● 帶寬高達 10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)
● 超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選
● UHV、輻射、低溫、無磁性等衍生型
應(yīng)用
● 精密制造
● 計量
● 形變測量
● 應(yīng)變測量（用于空間站機械臂和機械手）
● 平臺控制
● 材料檢測
● 顯微鏡
● 主動光學(xué)
● 精密光束控制
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 材料 | 分辨率 mm | 線性誤差 % | Active area mm2 | 熱漂移nm K |
| NX 系列 | 鋁/超殷鋼 |
1.25 |
0.02 |
NA. |
NA. |
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