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EN
FB205E
Z軸電動聚焦模塊
行程 38 mm
分辨率 100 nm
重復(fù)定位精度 ± 0.3 μm
負載 14 kg
兼容 Prior 正置平臺
兼容大多數(shù)控制器
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
FB 系列電動 Z 軸根據(jù)不同的應(yīng)用有若干個選擇，FB203 較為簡易，可以靈活應(yīng)用于各種光路搭建；FB204，FB205 可以直接固定 Prior 的 XY 電動平臺，用于反射光光路，區(qū)別在于底部固定方式不同；FB206 也可以直接固定 XY 平臺，用于透射光路。FB 的控制以及軟件開發(fā)兼容 Prior 的控制系統(tǒng)。
FB203/E，FB204/E，FB205/E，FB206/E 自帶底座，可以直接固定在光學(xué)平臺上。全系列也能加裝 0.1 μm 分辨率的線性編碼器。滾珠絲桿的齒距為 1 mm，使用步進電機驅(qū)動，在確保精度的同時，掉電也可以鎖定。
行程 38 mm，分辨率 100 nm，重復(fù)定位精度 ± 0.3 µm，負載 14 kg，兼容 Prior 正置平臺，兼容大多數(shù)控制器。
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 行程 mm | 重復(fù)精度 μm | 分辨率 nm | 速度 mm/s | 負載 kg | 編碼器 |
| FB205E | 38 |
± 0.3 |
100 |
1 — 14 |
14 |
100 nm |
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產(chǎn)品資料
軟件以及二次開發(fā)
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控制器
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