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EN
NPS-X-250B
高負載壓電平臺，帶電容式定位傳感器
250 微米行程，亞納米級分辨率。
誤差遲滯通常為 0.005%。
線性誤差為 0.004%。
負載能力高達 6 千克。
具有放大功能的柔性鉸鏈。
使用電容式定位傳感器直接測量移動平臺。
可在水平或垂直方向進行校準，以獲得優(yōu)異性能。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
高負載壓電平臺 帶電容式定位傳感器
Queensgate 的納米定位平臺（NPS）系列旨在嚴苛的高速和高精度應用提供優(yōu)異性能。
NPS-X-250B 高負載鉸鏈放大版本支持 X（水平）或 Z（垂直）方向進行校準，以便在客戶的系統(tǒng)中實現(xiàn)優(yōu)異性能。
柔性鉸鏈導向運動大限度地減少了旋轉誤差，通過低噪聲電容式定位傳感器對移動平臺進行直接測量，確保了高精度的定位。
用戶可選擇的校準參數(shù)為不同有效載荷（標準高達 6 kg）的快速步進和穩(wěn)定提供優(yōu)佳調(diào)諧。
特性
● 250 微米行程，亞納米級分辨率。
● 誤差遲滯通常為 0.005%。
● 線性誤差為 0.004%。
● 負載能力高達 6 千克。
● 具有放大功能的柔性鉸鏈。
● 使用電容式定位傳感器直接測量移動平臺。
● 可在水平或垂直方向進行校準，以獲得優(yōu)異性能。
應用
● 物鏡轉盤定位
● 白光表面計量
● 半導體檢測
● 精密制造
推薦控制器
● NPC-D-6000 系列
產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負載 kg | 線性誤差 % | 重復定位精度 nm |
| NPS-X-250B | X |
鋁（鍍鎳） |
250 |
6 |
0.004 |
NA. |
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