PT-HQT75-C20C

    行程 20 × 20 mm

    納米級分辨率

    重復定位精度 2 μm

    體積 100 × 100 × 20 mm

    行程 20 × 20 mm(±0.1 mm)

    使用 TULA75 驅動

    RS232 和 USB 控制

    無電磁干擾

    運行噪音低且無振動

    斷電后自鎖

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    產品描述
    PT-HQT75-C20C 小型電動 XY 載物臺為正置顯微鏡打造,憑借出色的適配特性,既能輕松集成到現有的顯微鏡系統(tǒng)中,提升系統(tǒng)性能,也可實現穩(wěn)定的平面運動,適用于材料科學、半導體檢測等對精度和穩(wěn)定性要求較高的應用場景。底部開孔大小 60 × 60 mm,該平臺使用 TULA75 作為驅動裝置,同時滿足了高速定位與納米級定位的需求。
    一、超聲波壓電與粘滑效應驅動
    采用 TULA 直線電機驅動,無電磁干擾,運行噪音低且無振動。 電機具備自鎖定功能,斷電后仍能保持位置,確保系統(tǒng)安全。 低發(fā)熱設計,保障長時間穩(wěn)定運行。
    二、高精度
    閉環(huán)位置控制確保納米級定位精度,分辨率可達 100 nm。 速度可達 10 mm/s,支持快速點到點移動。 雙向重復定位精度 ±2 μm,穩(wěn)定性優(yōu)異。
    三、長壽命與高可靠性
    壽命超過 100 萬次循環(huán)。負載能力 400 g,適用于多種實驗配置。
    四、安裝靈活性
    體積小便于安裝集成 環(huán)境適應性強:工作溫度 -20°C +70°C,濕度 ≤ 70% RH(非冷凝)。
    五、應用領域
    顯微鏡與成像技術
    納米加工與檢測
    生物醫(yī)學研究
    半導體制造與檢測
    光學儀器校準
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    產品參數
    參數/型號 行程 mm 重復精度 μm 分辨率 μm 速度 mm/s 負載 kg 編碼器精度 μm 螺距 mm
    PT-HQT75-C20C
    20 × 20
    2
    0.1
    10
    0.25
    0.1
    Na
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    PT-HQT75-C20C

    480.56KB

    2026-01-21

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