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H105

行程 154 × 154 mm

可選100 nm線性刻度提供高精度

分辨率0.04 μm

階段定制適合各種正置的顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)

閉環(huán)功能，可選旋轉(zhuǎn)或線性編碼器

ProScan III 控制系統(tǒng)

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

ProScan H105 電動(dòng) XY 載物臺(tái)為正置顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)中，無縫提升系統(tǒng)性能，又能為原始設(shè)備制造商（OEM）在搭建定制系統(tǒng)時(shí)，提供便捷、可靠的解決方案，助力打造功能卓越的顯微設(shè)備。

H105 載物臺(tái)的行程為 154 × 154 mm，用于 6 英寸晶圓檢測(cè)成像，配備了 2 mm 滾珠絲杠以及 200 步的電機(jī)。H105 不僅能提供亞微米級(jí)的重復(fù)精度，還能實(shí)現(xiàn)高達(dá) 60 mm/s 的運(yùn)行速度，兼顧提升效率與精準(zhǔn)。

H105 載物臺(tái)采用了IST智能掃描技術(shù)，優(yōu)化了載物臺(tái)的精度、線性度和其他性能特征，能夠可靠且精準(zhǔn)地對(duì)工業(yè)樣品進(jìn)行掃描。此外，可額外選配 0.1 μm 線性編碼器，用以提升長(zhǎng)距離運(yùn)行時(shí)的重復(fù)精度。

一、操作簡(jiǎn)單易上手

通過H105?電動(dòng) XY 平臺(tái)，用戶可輕松實(shí)現(xiàn)樣品的自動(dòng)掃描，只需在操作軟件中簡(jiǎn)單設(shè)置，平臺(tái)就能按照預(yù)設(shè)指令，快速且精準(zhǔn)地對(duì)樣品進(jìn)行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強(qiáng)大的位置信息存儲(chǔ)功能，用戶可將關(guān)鍵的位置點(diǎn)保存下來，方便后續(xù)隨時(shí)回溯和檢查，確保每次實(shí)驗(yàn)都能保持優(yōu)異的重復(fù)性，提高了實(shí)驗(yàn)效率。

二、自定義掃描路徑

在實(shí)際檢測(cè)過程中，不同的樣品和檢測(cè)目的需要不同的掃描方式。H105?充分考慮到這一點(diǎn)，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進(jìn)行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時(shí)，確保細(xì)節(jié)不被遺漏；甚至還能根據(jù)特殊需求，規(guī)劃隨機(jī)路線，滿足一些獨(dú)特的檢測(cè)場(chǎng)景。

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三、IST智能掃描技術(shù)

IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補(bǔ)償機(jī)制提高載物臺(tái)定位精度。在以往使用電動(dòng)載物臺(tái)的過程中可能會(huì)出現(xiàn)以下問題：

● 電機(jī)驅(qū)動(dòng)誤差導(dǎo)致目標(biāo)位置與實(shí)際位置偏差

● X/Y?軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差

● 溫濕度變化使校準(zhǔn)數(shù)據(jù)失效

● 顯微鏡更換不同載物臺(tái)之后需要重新校準(zhǔn)

IST校準(zhǔn)過程

● 手動(dòng)輸入系統(tǒng)參數(shù)（物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等）

● 自動(dòng)或手動(dòng)移動(dòng)載物臺(tái)至網(wǎng)格交點(diǎn)，記錄電機(jī)坐標(biāo)與實(shí)際位置偏差

● 生成誤差表并存儲(chǔ)于載物臺(tái)內(nèi)部存儲(chǔ)器

● 運(yùn)動(dòng)過程中控制軟件實(shí)時(shí)讀取誤差表，修正電機(jī)指令

● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應(yīng)動(dòng)態(tài)條件

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IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢(shì)

● 即插即用：誤差表儲(chǔ)存載物臺(tái)內(nèi)部，跨系統(tǒng)無需重新校準(zhǔn)

● 高精度定位：通過網(wǎng)格交點(diǎn)檢測(cè)提升正交性（誤差＜5?角秒）

● 環(huán)境適應(yīng)性：支持多條件誤差補(bǔ)償，長(zhǎng)期保持精度

四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域

生物醫(yī)藥領(lǐng)域?—— 在細(xì)胞研究、藥物研發(fā)等實(shí)驗(yàn)中，需要對(duì)生物樣本進(jìn)行高精度的觀察和分析?？膳浜巷@微鏡，精準(zhǔn)掃描細(xì)胞樣本，幫助科研人員捕捉細(xì)胞的細(xì)微變化，為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。

病理學(xué)領(lǐng)域?——?病理切片的檢測(cè)對(duì)精度要求較高。能快速、準(zhǔn)確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體領(lǐng)域?——?半導(dǎo)體晶圓的檢測(cè)關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠?qū)A表面進(jìn)行全面檢測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。

電子電路領(lǐng)域?——?在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，需要對(duì)電路板進(jìn)行精細(xì)檢測(cè)。可實(shí)現(xiàn)對(duì)電路板的快速掃描，檢測(cè)電路的連通性和元件的質(zhì)量。

金相及汽車清潔度領(lǐng)域?——?對(duì)于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測(cè)，?都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準(zhǔn)確評(píng)估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。

五、卓越的兼容性及適配性

H105?XY?電動(dòng)平臺(tái)具備出色的通用性，能適配大多數(shù)顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設(shè)備適配的后顧之憂。H105?不僅可以對(duì)現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行電動(dòng)化升級(jí)，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測(cè)工作提供穩(wěn)定的支持。

六、型號(hào)說明

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產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號(hào)	行程 mm	重復(fù)精度 μm	分辨率 μm	速度 mm/s	負(fù)載 kg	編碼器精度 μm	螺距 mm
H105/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05/2	154 × 154	＜0.9	0.1	60	10	0.1	2
H105NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	0.1	2