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附件
隔振平臺 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
H116
行程 255 × 215 mm
適配大多數(shù)顯微鏡
亞微米重復(fù)定位精度
行程 225 × 215 mm
運(yùn)行安靜穩(wěn)定
樣品夾具多種可選
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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相關(guān)附件
產(chǎn)品描述
ProScan H116 電動 XY 載物臺為正置工業(yè)顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)中，無縫提升系統(tǒng)性能，又能為原始設(shè)備制造商（OEM）在搭建定制系統(tǒng)時，提供便捷、可靠的解決方案，助力打造功能卓越的顯微設(shè)備。
H116 具有256 × 215 mm 的行程，配備了 2 mm 的滾珠絲杠和 200 步的電機(jī)，實(shí)現(xiàn)速度與分辨率的優(yōu)異平衡。H116 不僅能提供亞微米級的重復(fù)精度，還能實(shí)現(xiàn)高達(dá) 40 mm/s 的運(yùn)行速度，兼顧提升效率與精準(zhǔn)。
H116 載物臺具備 IST 智能掃描技術(shù)，可提高掃描的準(zhǔn)確性和線性度。此外，可額外選配 0.1 μm 線性編碼器，用以提升長距離運(yùn)行時的重復(fù)精度。
在實(shí)際應(yīng)用場景中，它能夠可靠且高效地掃描大型工業(yè)樣品，負(fù)載能力達(dá) 25 千克，可用于掃描大型重型樣品，如 8 英寸半導(dǎo)體晶圓、平板顯示器以及直徑達(dá) 200 mm的印刷電路板，且該載物臺適用于透射光應(yīng)用場景，樣品裝載方便。
一、操作簡單易上手
通過?H116 電動?XY?平臺，用戶可輕松實(shí)現(xiàn)樣品的自動掃描，只需在操作軟件中簡單設(shè)置，平臺就能按照預(yù)設(shè)指令，快速且精準(zhǔn)地對樣品進(jìn)行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強(qiáng)大的位置信息存儲功能，用戶可將關(guān)鍵的位置點(diǎn)保存下來，方便后續(xù)隨時回溯和檢查，確保每次實(shí)驗(yàn)都能保持優(yōu)異的重復(fù)性，提高了實(shí)驗(yàn)效率。
二、自定義掃描路徑
在實(shí)際檢測過程中，不同的樣品和檢測目的需要不同的掃描方式。H116 充分考慮到這一點(diǎn)，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進(jìn)行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時，確保細(xì)節(jié)不被遺漏；甚至還能根據(jù)特殊需求，規(guī)劃隨機(jī)路線，滿足一些獨(dú)特的檢測場景。
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三、IST智能掃描技術(shù)
IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補(bǔ)償機(jī)制提高載物臺定位精度。在以往使用電動載物臺的過程中可能會出現(xiàn)以下問題：
● 電機(jī)驅(qū)動誤差導(dǎo)致目標(biāo)位置與實(shí)際位置偏差
● X/Y?軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差
● 溫濕度變化使校準(zhǔn)數(shù)據(jù)失效
● 顯微鏡更換不同載物臺之后需要重新校準(zhǔn)
IST校準(zhǔn)過程
● 手動輸入系統(tǒng)參數(shù)（物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等）
● 自動或手動移動載物臺至網(wǎng)格交點(diǎn)，記錄電機(jī)坐標(biāo)與實(shí)際位置偏差
● 生成誤差表并存儲于載物臺內(nèi)部存儲器
● 運(yùn)動過程中控制軟件實(shí)時讀取誤差表，修正電機(jī)指令
● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應(yīng)動態(tài)條件
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IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢
● 即插即用：誤差表儲存載物臺內(nèi)部，跨系統(tǒng)無需重新校準(zhǔn)
● 高精度定位：通過網(wǎng)格交點(diǎn)檢測提升正交性（誤差＜5?角秒）
● 環(huán)境適應(yīng)性：支持多條件誤差補(bǔ)償，長期保持精度
四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域
生物醫(yī)藥領(lǐng)域?—— 在細(xì)胞研究、藥物研發(fā)等實(shí)驗(yàn)中，需要對生物樣本進(jìn)行高精度的觀察和分析?？膳浜巷@微鏡，精準(zhǔn)掃描細(xì)胞樣本，幫助科研人員捕捉細(xì)胞的細(xì)微變化，為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。
病理學(xué)領(lǐng)域?——?病理切片的檢測對精度要求較高。能快速、準(zhǔn)確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準(zhǔn)確性。
半導(dǎo)體領(lǐng)域?——?半導(dǎo)體晶圓的檢測關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠?qū)A表面進(jìn)行全面檢測，及時發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。
電子電路領(lǐng)域?——?在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，需要對電路板進(jìn)行精細(xì)檢測。可實(shí)現(xiàn)對電路板的快速掃描，檢測電路的連通性和元件的質(zhì)量。
金相及汽車清潔度領(lǐng)域?——?對于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測，?都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準(zhǔn)確評估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。
五、卓越的兼容性及適配性
H116?XY?電動平臺具備出色的通用性，能適配大多數(shù)顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設(shè)備適配的后顧之憂。?H116 不僅可以對現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行電動化升級，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測工作提供穩(wěn)定的支持。
六、型號說明
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 行程 mm | 重復(fù)精度 μm | 分辨率 μm | 速度 mm/s | 負(fù)載 kg | 編碼器精度 μm | 螺距 mm |
| H116ARNN | 255 × 215 |
± 0.7 |
0.04 |
40 |
25 |
No |
2 |
| H116ARN1 | 255 × 215 |
± 0.7 |
0.1 |
40 |
25 |
0.1 |
2 |
| H116BRNN | 255 × 215 |
± 0.7 |
0.1 |
40 |
25 |
No |
5 |
| H116BRN2 | 255 × 215 |
± 0.7 |
0.5 |
40 |
25 |
0.1 |
5 |
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產(chǎn)品資料
軟件以及二次開發(fā)
3D模型文件
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控制手柄
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