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隔振平臺 控制器 控制手柄 夾具 顯微照明光源
EN
NPS-X-15A
薄型快速15微米級
＞15 微米行程，亞納米級分辨率
一階諧振頻率＞3 KHz，4 kHz NPS-X-15D
毫秒級響應時間，50 g 負載
原位掃描和步進響應優(yōu)化
生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠
即插即用設備，停機時間短
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品描述
NPS-X-15A 薄型快速 15 微米平臺最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤驅動器檢測而設計的。
它的小尺寸和毫秒級響應時間，使其非常適合高可靠性和高通量的應用。低運動質量和高剛性的結合可提供高帶寬。緊湊的內置電容式傳感器，能夠在超過 16 微米的位移范圍內提供亞納米級閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導向可實現(xiàn)高純度的運動，將寄生運動降低至 1 微弧度（典型值）。使用數(shù)字閉環(huán)控制器，NPS-X-15A （不銹鋼）可實現(xiàn)毫秒級的響應和穩(wěn)定時間。
?特性
● ＞15 微米行程，亞納米級分辨率
● 一階諧振頻率 ＞3 KHz，4 kHz （NPS-X-15D）
● 毫秒級響應時間，50 g 負載
● 原位掃描和步進響應優(yōu)化
● 生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠
● 即插即用設備，停機時間短
應用
● 磁阻磁頭和磁盤驅動器檢測
● 干涉測量
● 計量
● AFM 探針?
推薦控制器
● NPC-D-5200 數(shù)字控制器
● NPC-D-6000 系列
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產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)/型號 | 方向 | 材料 | 行程 μm | 負載 kg | 線性誤差 % | 重復定位精度 nm |
| NPS-X-15A | X |
不銹鋼 |
15 |
3 |
0.005 |
NA. |
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